Powszechnie stosowane proszki polerskie są otrzymywane z mieszanki pierwiastków ziem rzadkich, uzupełnionej fluorem, kwarcem, wapniem, barem, żelazem i niewielką ilością innych zanieczyszczeń. Od lat 60. do 70. XX wieku proces przygotowania i metoda produkcji proszku polerskiego przyniosły stosunkowo skoncentrowane wyniki badań. Powszechnie stosowanym procesem przygotowania jest chemiczna zmiana wzbogaceń pierwiastków ziem rzadkich w stanie stałym w celu przekształcenia ich w związki o stabilnych właściwościach mechanicznych i chemicznych. Zawartość tlenku pierwiastka ziem rzadkich wynosi 40~70% (zawiera 30~65% tlenku), a wielkość cząstek wynosi 1~4 mikrony. Proszek polerski jest stosunkowo tani, ma wysoką szybkość cięcia i jest szeroko stosowany. Jest głównie stosowany do polerowania lamp elektronopromieniowych, szkła płaskiego i soczewek. Drugi rodzaj proszku polerskiego na bazie tlenku jest wytwarzany przez chemiczne wytrącanie.
Osad ziem rzadkich jest kalcynowany do stabilnego tlenku i mielony na drobny proszek. Zwykle zawiera 70~100% tlenków ziem rzadkich (40~100% tlenków). Zaletą tego produktu jest to, że skład jest jednolity, a wielkość cząstek i spójność kształtu są dobre, ale jest on głównie stosowany do szkła optycznego. Specjalne szkło jest polerowane przy użyciu wysokiego poziomu proszku polerującego (ponad 99% tlenku). Jego kształt cząstek i twardość są jednolite, wysoka czystość, jednolita powierzchnia, brak defektów, brak zanieczyszczeń. Jest powszechnie stosowany do polerowania precyzyjnych instrumentów optycznych, kryształów laserowych i elementów półprzewodnikowych. Wymagania dotyczące proszków polerujących ziem rzadkich różnią się od wymagań dotyczących podobnych produktów ziem rzadkich. W przypadku proszków polerujących, chociaż istnieją również wymagania dotyczące czystości chemicznej, nie jest to czynnik decydujący, ale decydujący.
Dlatego przygotowanie proszku do polerowania z metali ziem rzadkich musi być wyposażone w odpowiednie właściwości fizyczne na podstawie określonej zawartości chemicznej, takiej jak wielkość cząstek, jednorodność, właściwości krystaliczne, twardość, proporcje itp. Właściwości te muszą zostać dostosowane w trakcie procesu przygotowania, w tym wytrącania i kalcynacji.